圖 / FESTO半導體特殊氣體對應產品。

2025/09/10 工商時報  莊富安

半導體先進製程需求極為嚴苛，如何兼顧安全、效率與穩定性，成為產業持續向上升級的核心挑戰！

以氣動與自動化解決方案聞名全球的德國百年自動化大廠Festo，近期推出多項專為半導體特殊氣體處理領域設計的解決方案，由其台灣代理商鑫達懋業積極引進其前瞻性產品，以協助國內半導體廠商提升產線韌性，穩健迎戰國際市場的競爭。

鑫達懋業總經理王世敏強調：「半導體製程講求的是零失誤與高效率，Festo的解決方案不僅能確保安全，更能有效降低停機成本，為廠商帶來即時效益，我們希望藉由與Festo的合作，持續協助台灣半導體產業保持全球競爭力！」。

王世敏表示，Festo針對半導體特殊氣體應用提出多元方案，包括一、Shut-Boy模塊能夠在緊急情況下快速、可靠地完全關閉鋼瓶，為安全增添了一道防線。二、 OH氣動指示器能夠清晰地監測氣體供應，使系統操作人員可以直觀地進行操作，協助維護人員安全查修，減少錯誤操作的可能性。 三、Festo強攻閥組集成了多個OR閥，能夠快速連接多個閥體並實現手動和電動氣體供應的快速切換，以防止重要的製程中斷。四、VTUG熱插拔模塊可以實現不關閉氣源的情況下直接更換單個閥體，從而減少設備停機和維護時間，使整個製程能夠更順暢地運行。

此外，Festo還能以人工智慧為半導體設備提供預測性維護的解決方案，僅利用設備現有的感測器訊號，Festo AX系統即可透過分析現有數據實現預測性維護，無論是氣缸、電缸、真空產生器或吸盤等常見設備元件，AX都能協助客戶在最小改動的前提下，賦予設備預測性維護的能力，大幅提升設備可靠性與維護效率。

王世敏指出，未來鑫達懋業將持續攜手Festo，提供從單一模組到完整系統的整合方案，協助客戶在產業升級浪潮中穩健前行，打造出更具效率與安全性的智慧製造環境。